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                    二硫化鉬FET (MoS2 FET), 二硫化鎢FET (WS2 FET), 二硒化鎢 FET(WSe2 FET), 石墨烯晶體管(GFET)等。

                    深圳六碳科技自建的微加工中心本學期開始對外服務。微加工中心配置:405nm激光直寫曝光機,365nm紫外接觸式曝光機,RIE反應離子刻蝕機,磁控濺射鍍膜機,電子束蒸發鍍膜機,熱蒸發鍍膜機等常規微加工設備。附圖8英寸石墨烯電極(石墨烯轉移到8英寸200mmm直徑氧化硅片上后激光直寫曝光,然后刻蝕圖案化,最后去膠而成)


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